| 发明名称 |
Method for the manufacture of a sputter cathode |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0586809(B1) |
申请公布日期 |
1999.03.10 |
| 申请号 |
EP19930110273 |
申请日期 |
1993.06.28 |
| 申请人 |
"EMIEL VANDERSTRAETEN" SOCIETE DE PERSONNES A RESPONSABILITE LIMITEE |
发明人 |
VANDERSTRAETEN, JOHAN |
| 分类号 |
C23C14/34;H01B1/00;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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