发明名称 DEVICE AND METHOD FOR VERIFYING RELIABILITY OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT AND STORAGE MEDIUM STORED WITH VERIFYING PROGRAM
摘要
申请公布号 JPH1166143(A) 申请公布日期 1999.03.09
申请号 JP19970236578 申请日期 1997.08.18
申请人 NEC CORP 发明人 MURAI SHUZO
分类号 H01L21/82;G06F17/50;(IPC1-7):G06F17/50 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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