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发明名称
METHOD AND DEVICE FOR INSPECTING OBJECT
摘要
申请公布号
JPH1163950(A)
申请公布日期
1999.03.05
申请号
JP19970216620
申请日期
1997.08.11
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
SUKEGAWA HIROSHI
分类号
G01B11/24;G01B11/245;G07D7/00;G07D7/08;G07D7/16;(IPC1-7):G01B11/24
主分类号
G01B11/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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