| 发明名称 |
PLASMA-CLEANING DEVICE AND PLASMA-CLEANING METHOD OF ELECTRONIC COMPONENT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH1154464(A) |
申请公布日期 |
1999.02.26 |
| 申请号 |
JP19970202738 |
申请日期 |
1997.07.29 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
HAJI HIROSHI |
| 分类号 |
B08B7/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B08B7/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
