| 发明名称 |
ELECTRON BEAM RADIATION METHOD AND ELECTRON BEAM RADIATION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1125897(A) |
申请公布日期 |
1999.01.29 |
| 申请号 |
JP19970181982 |
申请日期 |
1997.07.08 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HAYATA YASUNARI;OTA HIROYA;SOMETA YASUHIRO;MATSUZAKA TAKASHI;SAITO NORIO |
| 分类号 |
H01J37/141;H01J37/147;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/147 |
主分类号 |
H01J37/141 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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