| 发明名称 |
OPTICAL SCALE AND DISPLACEMENT-INFORMATION MEASURING APPARATUS UNIT THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1123321(A) |
申请公布日期 |
1999.01.29 |
| 申请号 |
JP19970190519 |
申请日期 |
1997.06.30 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
TAKAYAMA MANABU;IGAKI MASAHIKO |
| 分类号 |
G01D5/36;G01B11/00;G01D5/34;G01D5/347;(IPC1-7):G01D5/36 |
主分类号 |
G01D5/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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