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<p>Der Erfindung, die eine Targetkathodenanordnung mit einem Target betrifft, das im laufenden Betrieb einen Erosionsgraben ausbildet, wobei unter dem Target Trageelemente, ein Kühlsystem und ein Magnetsystem angeordnet ist, welches eine auf der dem Target gegenüberliegenden Seite der Targetkathodenanordnung angeordnete Rückschlußplatte beinhaltet, liegt die Aufgabe zugrunde, Bogenentladungen an der Targetkathodenanordnung oder bei einer benachbarten Anordnung zweier Targetkathodenanordnungen zwischen diesen zu vermeiden. Dies wird dadurch gelöst, daß die Targetkathodenanordnung mit einer Umhüllung aus weichmagnetischem Material versehen ist, die die Außenfläche der Targetkathodenanordnung unter Freilassung der aktiven Targetoberfläche zumindest teilweise bedeckt und mit der Targetkathodenanordnung elektrisch verbunden ist.</p> |
