| 摘要 |
<p>Abgase aus Produktionsanlagen der Halbleiterindustrie enthalten toxische und/oder kondensationsfähige Komponenten und werden durch Verbrennung und nachfolgende Wäsche der Verbrennungsgase gereinigt, bevor sie durch Vakuumpumpen abgesaugt werden. Einerseits muß ein hierfür vorgesehener Brenner gekühlt werden, andererseits neigen kalte Oberflächen zur Ablagerung fester Kondensate aus den Schadstoffen und damit zur einer Verringerung der Strömungsquerschnitte im Brenner und damit auch der Saugleistung der Nachgeschalteten Vakuumpumpen. Um dies zu vermeiden, wird die Betriebstemperatur des Brenners (1) beeinflußt, und zwar verfahrensmäßig dadurch, daß die kondensationsgefährdeten Oberflächenbereiche des Brenners (1) durch Aufheizen mindestens eines der dem Brenner zugeführten oder von diesem erzeugten Gase aus der Gruppe Abgas, Brenngas, Oxidationsgas, Flammengas und Spülgas und durch Verwendung des Gases als Wärmeträger auf Temperaturen oberhalb der Kondensationstemperatur der Abgaskomponenten aufgeheizt werden, und vorrichtungsmäßig dadurch, daß Mittel für eine Verhinderung der Kondensation auf der Innenfläche (8) einer Zufuhröffnung (7) für die Abgases zur Brennerflamme vorgesehen sind.</p> |
