| 发明名称 |
ELECTROSTATIC ADSORBING DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF AND WORKING DEVICE UNDER REDUCED PRESSURE USING THIS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1112732(A) |
申请公布日期 |
1999.01.19 |
| 申请号 |
JP19970165578 |
申请日期 |
1997.06.23 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
WATANABE RYUTA;KOJIMA YOSHIYUKI;ARIKAWA HIDEYUKI;OGINOYA MITSUO |
| 分类号 |
B23Q3/15;C23C14/48;C23C14/50;C23C16/44;(IPC1-7):C23C14/48 |
主分类号 |
B23Q3/15 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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