| 发明名称 | 复合靶 | ||
| 摘要 | 本实用新型为一种用于着色镀膜用的复合靶,属于一种溅射靶。它由靶面及靶底构成,靶面为钛铝合金材料的靶面,靶底为导热性好的金属或合金材料制成,靶面焊接在靶底上部,靶底带有冷却水腔。本实用新型结构简单,节省材料,降低成本,导热性好,容易控制,不易损坏,靶底可重复使用,主要适用于钢板表面镀膜。 | ||
| 申请公布号 | CN2303851Y | 申请公布日期 | 1999.01.13 |
| 申请号 | CN97220834.8 | 申请日期 | 1997.07.24 |
| 申请人 | 北京有色金属研究总院 | 发明人 | 赵昌森;王玉民;李一民;何京颜 |
| 分类号 | C23C14/34 | 主分类号 | C23C14/34 |
| 代理机构 | 北京市第三专利代理事务所 | 代理人 | 范红雁 |
| 主权项 | 1．一种复合靶，由靶面及靶底构成，其特征是：靶面为钛铝合金材料的靶面，靶底为导热性好的金属或合金材料制成，靶面焊接在靶底上部，靶底带有冷却水腔。 | ||
| 地址 | 100088北京市新街口外大街2号 | ||