微通道板防离子反馈膜的制作方法

摘要

一种微通道板防离子反馈膜的制作方法,本发明采用先涂覆有机膜,再用离子溅射镀防离子反馈膜,经焙烧后将有机膜分解,则留下一层防离子反馈薄膜;其不仅能够防止离子反馈、延长器件使用寿命,改善成像质量,且具有方法简单、容易掌握、成本低的优点;其适用于各种真空器件中需要防离子反馈膜的制作。

主权项

1.一种微通道板防离子反馈膜的制作方法，采用有离子溅射制膜技术和有机膜涂覆及焙烧方法，其特征在于，在微通道板的输入端面先涂覆一层有机膜，再采用离子溅射制膜技术在其上制作防离子反馈薄膜，经焙烧将有机膜分解，则保留下均匀、致密、牢固的防离子反馈薄膜；其中离子溅射制膜条件为，使微通道板处于液氮低温，在惰性气体的真空条件下，以制膜材料为靶面进行离子溅射制膜。