发明名称 PHOTORESIST MIXTURE AND USE THEREOF
摘要
申请公布号 KR0163588(B1) 申请公布日期 1998.12.15
申请号 KR19900017201 申请日期 1990.10.26
申请人 CIBA SC HOLDING AG 发明人 HUNZIKER, MAX;NOFMANN, MANFRED;SCHUITHESS, ADRIAM;BERNHAND, PAUL;KLINGERT, BERND;WIESENDANGER, ROLF
分类号 C08F290/00;C08F299/00;G03F7/027;(IPC1-7):G03F7/027 主分类号 C08F290/00
代理机构 代理人
主权项
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