| 发明名称 |
ION IMPLANTING DEVICE, DOUBLE EXHAUST TUBE ASSEMBLED BODY AND METHOD FOR EXCHANGING IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10330939(A) |
申请公布日期 |
1998.12.15 |
| 申请号 |
JP19980138243 |
申请日期 |
1998.05.20 |
| 申请人 |
EATON CORP |
发明人 |
VERRIER KEVIN RICHARD;QUILL JAMES PATRICK;DENHOLM ALEC STUART |
| 分类号 |
F16L9/12;C23C14/48;H01J37/18;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):C23C14/48 |
主分类号 |
F16L9/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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