发明名称 CURE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10321655(A) 申请公布日期 1998.12.04
申请号 JP19970127675 申请日期 1997.05.16
申请人 NIPPON SANSO KK;SHINKURAITO:KK 发明人 ECHIGOSHIMA MAKOTO;KIMOTO TAKESHI
分类号 H01L21/52;(IPC1-7):H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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