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发明名称 ION IMPLANTATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10321151(A) 申请公布日期 1998.12.04
申请号 JP19970128259 申请日期 1997.05.19
申请人 HITACHI LTD 发明人 ITO JUNYA;SEKI TAKAYOSHI;TOKIKUCHI KATSUMI
分类号 C23C14/48;H01J27/02;H01J37/08;H01J37/141;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J27/02 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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