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经营范围
发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10321490(A) 申请公布日期 1998.12.04
申请号 JP19970127549 申请日期 1997.05.16
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 TAKAHATA SATORU
分类号 H01L21/205;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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