| 发明名称 |
PROCESS CONTROLLING METHOD OF SEMICONDUCTOR SILICON SINGLE CRYSTAL INGOT AND PROCESS CONTROLLING SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10296716(A) |
申请公布日期 |
1998.11.10 |
| 申请号 |
JP19970124805 |
申请日期 |
1997.04.28 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
TOYAMA KOHEI |
| 分类号 |
B28D5/00;H01L21/304;(IPC1-7):B28D5/00 |
主分类号 |
B28D5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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