| 摘要 |
<p>Bei einer Vorrichtung zum Bewegen von Substraten (7) durch eine Substratbehandlungseinrichtung (11) ergibt sich ein besonders einfacher und flexibler Aufbau, wenn ein Basistransportband (2) und zwei seitliche Transportbänder (4, 6) vorgesehen sind, die jeweils Einschnitte zur senkrechten Aufnahme der Substrate (7) aufweisen.</p> |
