发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10270441(A) 申请公布日期 1998.10.09
申请号 JP19970072278 申请日期 1997.03.25
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 SASADA KAZUHIRO;ARIMOTO MAMORU;NAGASAWA HIDEJI;NISHIDA ATSUHIRO;AOE HIROYUKI;MATSUSHITA YOSHIFUMI
分类号 H01L29/78;H01L21/318;(IPC1-7):H01L21/318 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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