| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10256254(A) |
申请公布日期 |
1998.09.25 |
| 申请号 |
JP19970061036 |
申请日期 |
1997.03.14 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
UI AKIO;KAJI SHIGEHIKO;MATSUNOU TADASHI;MIYAJIMA HIDESHI;SHIBATA HIDEKI |
| 分类号 |
H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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