| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING MICROMECHANICAL STRUCTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10256565(A) |
申请公布日期 |
1998.09.25 |
| 申请号 |
JP19980060923 |
申请日期 |
1998.03.12 |
| 申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
MUCHOW JOERG;BAUMANN HELMUT DR |
| 分类号 |
G01L9/02;B81C1/00;B81C3/00;G01L9/00;H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/84 |
主分类号 |
G01L9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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