웨이퍼 이송용 아암

摘要

본 고안은 다른 공정을 진행하기 위하여 웨이퍼를 이송시킬 때 사용되는 웨이퍼 이송용 아암을 개시한다. 본 고안에 따르면, 웨이퍼 이송용 아암은 다수개의 웨이퍼 지지용 아암을 가지고, 각 아암의 단부에는 웨이퍼와의 접촉시 웨이퍼의 손상을 방지하기 위한 탄성부재가 구비되며, 웨이퍼가 올려지는 아암의 소정 위치에 공기흡입용 홀을 구비한다.