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发明名称
DEVICE FOR PREVENTING A RAINBOW OF EXPOSURE APPARATUS AROUND WAFER
摘要
申请公布号
KR0124963(Y1)
申请公布日期
1998.09.15
申请号
KR19950038005U
申请日期
1995.12.04
申请人
LG SEMICONDUCTOR CO.,LTD
发明人
SEO, YOUNG-MAN
分类号
G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
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