| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTING SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10246704(A) |
申请公布日期 |
1998.09.14 |
| 申请号 |
JP19970049437 |
申请日期 |
1997.03.04 |
| 申请人 |
NIPPON STEEL CORP;NITTETSU DENSHI KK |
发明人 |
YAMAGUCHI ZENZO;MAEDA TETSUO |
| 分类号 |
G01N21/84;G01N21/88;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88 |
主分类号 |
G01N21/84 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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