发明名称 TURBO-MOLECULAR PUMP
摘要
申请公布号 JPH10246197(A) 申请公布日期 1998.09.14
申请号 JP19970067354 申请日期 1997.03.05
申请人 EBARA CORP 发明人 MIYAMOTO MATSUTARO
分类号 F04D19/04;(IPC1-7):F04D19/04 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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