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发明名称 Reglung des Oberflächenpotentials bei der Plasma-Bearbeitung von Werkstoffen
摘要
申请公布号 DE69319869(D1) 申请公布日期 1998.08.27
申请号 DE19936019869 申请日期 1993.12.22
申请人 HUGHES AIRCRAFT CO., LOS ANGELES, CALIF., US 发明人 MATOSSIAN, JESSE N., CANOGA PARK, CA 91306, US;SCHUMACHER, ROBERT W., WOODLAND HILLS, CA 91367, US;PEPPER, DAVID M., MAILIBU, CA 90265, US
分类号 B29C35/08;B29C59/14;C23C8/36;C23C14/32;C23C14/48;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):C23C14/48;B29C71/04 主分类号 B29C35/08
代理机构 代理人
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