发明名称 OBEDIENT WAFER-PROBER COUPLING ADAPTER
摘要
申请公布号 JPH10223708(A) 申请公布日期 1998.08.21
申请号 JP19980022456 申请日期 1998.02.04
申请人 HEWLETT PACKARD CO <HP> 发明人 BOTKA JULIUS K;VETERAN DAVID R
分类号 G01R1/06;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
主权项
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