发明名称 |
OBEDIENT WAFER-PROBER COUPLING ADAPTER |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH10223708(A) |
申请公布日期 |
1998.08.21 |
申请号 |
JP19980022456 |
申请日期 |
1998.02.04 |
申请人 |
HEWLETT PACKARD CO <HP> |
发明人 |
BOTKA JULIUS K;VETERAN DAVID R |
分类号 |
G01R1/06;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R1/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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