发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH10209441(A) 申请公布日期 1998.08.07
申请号 JP19970006056 申请日期 1997.01.17
申请人 SONY CORP 发明人 TOKUNAGA KAZUHIKO
分类号 H01L21/28;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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