| 摘要 |
본 고안은 반도체 칩의 이송장치에 관한 것으로, 종래에는 제 1 스텝모터로 구동되는 벨트와, 그 벨트의 하단면에 부착되고 버큠 마운트가 구비된 가이드 블록을 제 2 스텝모터를 이용하여 칩을 이송하는 것이나, 상기와 같이 벨트에 의한 초기 위치제어는 초정밀제어에 적합하지 못하다는 근본적인 문제점이 있었던 바, 본 고안에서는 평판형의 리니어 모터에 의해 수평으로 왕복이동을 하며, 스텝모터에 의해 수직으로 왕복이동을 하도록 함으로써, 칩을 정확한 위치로 이송시킬 수 있는 효과가 있다. |
