| 发明名称 |
ORGANIC METAL VAPOR GROWTH METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10177957(A) |
申请公布日期 |
1998.06.30 |
| 申请号 |
JP19960339438 |
申请日期 |
1996.12.19 |
| 申请人 |
HITACHI CABLE LTD |
发明人 |
MINAGAWA SHUNICHI;MEGURO TAKESHI |
| 分类号 |
C30B29/40;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C30B29/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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