| 发明名称 |
CAPACITANCE TYPE ACCELERATION SENSOR AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10177034(A) |
申请公布日期 |
1998.06.30 |
| 申请号 |
JP19960354072 |
申请日期 |
1996.12.17 |
| 申请人 |
SUMITOMO PRECISION PROD CO LTD |
发明人 |
TORAYASHIKI OSAMU |
| 分类号 |
G01P15/125;G01P15/08;H01L29/84;(IPC1-7):G01P15/125 |
主分类号 |
G01P15/125 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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