发明名称 ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10158865(A) 申请公布日期 1998.06.16
申请号 JP19960332903 申请日期 1996.11.26
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 YASUZAWA HITOSHI;OKAMOTO YOSHINOBU
分类号 C23F1/00;C23F1/08;H01J9/14;H01L23/50;(IPC1-7):C23F1/08 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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