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发明名称 MASK REPAIR METHOD
摘要
申请公布号 KR0141156(B1) 申请公布日期 1998.06.15
申请号 KR19950012316 申请日期 1995.05.17
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO.,LTD 发明人 KIM, JIN-MIN
分类号 G03F1/78;G03F1/72;G03F1/80;(IPC1-7):G03F1/00 主分类号 G03F1/78
代理机构 代理人
主权项
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