发明名称 Vorrichtung und Verfahren zur Behandlung mit Flüssigkeit
摘要
申请公布号 DE69317703(D1) 申请公布日期 1998.05.07
申请号 DE19936017703 申请日期 1993.06.21
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 BARD, STEVEN LINDZ, ENDWELL, NEW YORK 13760, US;JONES, JEFFREY DONALD, NEWARK VALLEY, NEW YORK 13811, US;KATYL, ROBERT HENRY, VESTAL, NEW YORK 13850, US;MOORE, RONALD JAMES, BINGHAMTON, NEW YORK 13905, US;MORENO, OSCAR AUREO, VESTAL, NEW YORK 13850, US
分类号 B05C5/02;B05D1/36;B08B3/02;C23F1/08;F26B21/00;H01L21/304;H05K3/00;H05K3/22;H05K3/26;(IPC1-7):H05K3/00 主分类号 B05C5/02
代理机构 代理人
主权项
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