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发明名称 Verfahren zum Herstellen von Dünnfilmtransistoren
摘要
申请公布号 DE69127656(T2) 申请公布日期 1998.04.30
申请号 DE19916027656T 申请日期 1991.06.03
申请人 SEL SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD., ATSUGI, KANAGAWA, JP 发明人 ZHANG, HONGYONG, YAMAMOTO-SHI, KANAGAWA-KEN 242, JP
分类号 H01L29/78;H01L21/20;H01L21/268;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/84;H01L21/203 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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