发明名称 SEMICONDUCTOR WAVEGUIDE TYPE PHOTO DETECTOR
摘要
申请公布号 JPH10112551(A) 申请公布日期 1998.04.28
申请号 JP19960265853 申请日期 1996.10.07
申请人 FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE 发明人 NISHIKATA KAZUAKI;HIRAIWA KOJI
分类号 H01L31/10;(IPC1-7):H01L31/10 主分类号 H01L31/10
代理机构 代理人
主权项
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