发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THEREOF
摘要
申请公布号 KR0135720(B1) 申请公布日期 1998.04.24
申请号 KR19940004467 申请日期 1994.03.08
申请人 MITSUBISHI DENKI KK. 发明人 KOGA, TSUYOSHI
分类号 H01L21/76;H01L21/316;H01L21/762;H01L21/822;H01L21/8238;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/08;H01L27/092;H01L27/108;H01L29/10;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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