申请人 |
ZENTRUM FUER ANGEWANDTE MIKROELEKTRONIK UND NEUE TECHNOLOGIEN DER BAYERISCHEN FACHHOCHSCHULEN (ZAM) E.V., 91058 ERLANGEN, DE |
发明人 |
HOFBECK, MARTIN, DIPL.-ING. (FH), 90427 NUERNBERG, DE;KODL, GEORG, DIPL.-ING., 90403 NUERNBERG, DE;SIEGL, JOHANN, PROF. DR.-ING., 90518 ALTDORF, DE |