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Eine DUV-taugliche Viertelwellenplatte oder Ähnliches wird als Planplatte unter Spannungsdoppelbrechung ausgeführt. Die Planplatte (1) aus hochwertigem Quarzglas wird durch geeignete Konstruktionen mit mehreren parallelen Zugvorrichtungen (3, 7) torsionsfrei und gleichmäßig, bzw. gezielt lokal eingestellt, auf Zug beansprucht. Zwischen dem nutzbaren Querschnitt (10) und den Ansatzbereichen (11a) und (11b) oben und unten sind jeweils Querbalken (12a) bis (12d) aus dem gleichen Quarzglas mit einem Format von zum Beispiel 220 x 30 x 15 mm<3> (Breite x Höhe x Dicke) beidseitig angesprengt oder angekittet. Diese Versteifungen bewirken eine Gleichverteilung der Zugspannung von den zahlreichen doch aber diskreten Ansatzpunkten der Zugvorrichtungen (3,7) auf die Planplatte (1) im Bereich zwischen den Querbalken (12a) bis (12d) (Vermeidung des "Vorhang"-Effekts). Die freien Ende der Stifte (13i) tragen Ösen, in die Schrauben-Zugfedern (3i) eingehängt sind. Mit dem zweiten Ende sind diese Federn (3i) in längstverstellbare Lagerböcke (32i) eingehängt, die im Spannrahmen (2) fest gelagert sind. Durch Justage der längsverstellbaren Lagerböcke (32i) wird die gleichmäßige Spannung in der Planplatte (1) eingestellt. Dazu werden die Spannungen im Quarzglas interferometrisch ausgewertet. <IMAGE>
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