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发明名称 ELECTRON-BEAM PROCESSED FILMS FOR MICROELECTRONICS STRUCTURES
摘要
申请公布号 EP0834193(A1) 申请公布日期 1998.04.08
申请号 EP19960919059 申请日期 1996.06.04
申请人 ALLIEDSIGNAL INC. 发明人 FORESTER, LYNN;HENDRICKS, NEIL, H.;KYU-CHOI, DONG
分类号 H01L21/027;H01L21/3105;H01L21/312;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316;H01L21/310 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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