| 发明名称 |
LIQUID METALLIC ION SOURCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1064438(A) |
申请公布日期 |
1998.03.06 |
| 申请号 |
JP19960221408 |
申请日期 |
1996.08.22 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
FURUKAWA TAKAYASU;KUROBA MOTOHISA;HIKICHI KAZUTO;UZAWA AKIRA |
| 分类号 |
H01J27/26;H01J37/08;(IPC1-7):H01J27/26 |
主分类号 |
H01J27/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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