发明名称 Method of manufacturing a semiconductor device
摘要
申请公布号 EP0399231(B1) 申请公布日期 1998.03.04
申请号 EP19900107859 申请日期 1990.04.25
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 KAMEYAMA, SHUICHI;KIKUCHI, KAZUYA;SHIMOMURA, HIROSHI;SEGAWA, MIZUKI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/732;(IPC1-7):H01L27/06;H01L21/82 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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