| 摘要 |
본 발명에 따르면, 반응 가스 및 환원 가스가 유동할 수 있는 내부 공간이 형성된 수평관; 상기 수평관의 내부에 연장된 톱니형 와이어; 상기 수평관의 외표면에 형성된 전극; 상기 톱니형 와이어와 상기 전극에 교류 전류를 인가하는 전원; 및, 상기 수평관의 하류에 배치되며, 내부 온도를 소정 온도로 상승시킬 수 있는 경사관;을 구비하며, 상기 톱니형 와이어와 상기 전극 사이에서 발생되는 스트리머 플라즈마 방전(streamer plasma discharge)에 의해 상기 반응 가스 및 환원 가스의 해리가 이루어질 수 있는, 폴리실리콘 제조 장치가 제공된다. 또한 상기 폴리실리콘 제조 장치를 이용하는 폴리실리콘 제조 방법이 제공된다. |
