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发明名称 METHOD FOR ETCHING SILICON, PRODUCTION OF SILICON MEMBER AND ETCHED SINGLE CRYSTAL SILICON
摘要
申请公布号 JPH1046369(A) 申请公布日期 1998.02.17
申请号 JP19960202017 申请日期 1996.07.31
申请人 HITACHI CABLE LTD 发明人 KOBAYASHI MASARU
分类号 C23F1/40;B81C1/00;H01L21/306;H01L21/308;(IPC1-7):C23F1/40 主分类号 C23F1/40
代理机构 代理人
主权项
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