Device with capacitor

摘要

Die Erfindung betrifft ein Bauteil mit einem Kondensator, insbesondere als integriertes oder diskretes Bauteil, mit wenigstens einer Substratschicht (1) aus Glas bzw. Al2O3, wenigstens einer Antireaktionsschicht (2) bzw. Planarisierungsschicht (2), wenigstens zwei Elektrodenschichten (3, 5) und wenigstens einer Dielektrikumschicht (4) sowie einen solchen Kondensator. Um ein Bauteil zu schaffen, das kostengünstige, SMD-fähige Kondensatoren mit hoher Flächenkapazität, geringer Dicke und geringer Toleranz zur Verfügung stellt, ist für die Antireaktionsschicht (2) auf dem Glassubstrat (1) bzw. für die Planarisierungsschicht (2) auf dem Al2O3-Substrat (1) jeweils wenigstens ein bestimmtes Material vorgesehen. Bei einer Antireaktionsschicht oder Planarisierungsschicht (2) aus einem der beanspruchten Stoffe oder einer Kombination aus mehreren Stoffen kann eine dielektrische Schicht (4) aufgebracht werden, mit der eine hohe Kapazität erreicht wird. <IMAGE>