发明名称 Magnetronzerstäubungsquelle
摘要
申请公布号 DE29623259(U1) 申请公布日期 1998.01.22
申请号 DE19962023259U 申请日期 1996.09.24
申请人 BALZERS AG, BALZERS, LI 发明人
分类号 H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
主权项
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