发明名称 TREATING GAAS MIRROR SURFACE WAFER
摘要
申请公布号 JPH1012577(A) 申请公布日期 1998.01.16
申请号 JP19960164815 申请日期 1996.06.25
申请人 HITACHI CABLE LTD 发明人 AKIYAMA HIROKI;ABE KEIJI
分类号 C30B29/42;C30B33/00;H01L21/205;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 C30B29/42
代理机构 代理人
主权项
地址