发明名称 PROCEDE ET DISPOSITIF D'INTERCONNEXION DE CIRCUITS INTEGRES EN TROIS DIMENSIONS.
摘要
申请公布号 FR2670323(B1) 申请公布日期 1997.12.12
申请号 FR19900015473 申请日期 1990.12.11
申请人 THOMSON CSF 发明人 LEROY MICHEL;VAL CHRISTIAN
分类号 H01L23/52;H01L21/60;H01L25/065;H01L27/00;(IPC1-7):H01L25/16;H01L23/49 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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