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发明名称 DEVICE FOR MEASURING LAYER THICKNESS OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH09321107(A) 申请公布日期 1997.12.12
申请号 JP19960138331 申请日期 1996.05.31
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD 发明人 SHIRAI YOSHIFUMI;SUZUMURA MASAHIKO;MAEDA MITSUHIDE;SUZUKI YUJI;HAYAZAKI YOSHIKI;KISHIDA TAKASHI;TAKANO HITOMICHI;YOSHIDA TAKESHI
分类号 G01B7/06;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01B7/06
代理机构 代理人
主权项
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