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发明名称 INSPECTING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH09321102(A) 申请公布日期 1997.12.12
申请号 JP19960160828 申请日期 1996.05.31
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 IINO SHINJI
分类号 G01R31/26;G01R1/06;G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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